1、原水与预处理：反渗透处理装置对进水水质有严格要求，因此应把好处理关。除进行多介质过滤、活性炭吸附外，还要注意水质多项指标。随时控制在许可范围之内，以避免反渗透膜的损害。如水中余氯不应大于0.1mg/Kg，可以加入NaHSO3来调节控制；水中钙离子与硫酸根离子的浓度积偏高则应添加六偏磷酸钠；浑浊度污染指数高则应加强微滤；此外水的温度、PH等也应控制在工艺要求的范围内。
2、反渗透处理：反渗透处理装置的核心部件是反渗透元件中装有选择性材料制成的膜，即反渗透膜上密布极为细小的孔，其孔径约有十几个纳米。工作时，对待加工水加工，使水分子在压力下透膜而过，而起到分离提纯水质的作用。使这种“浓水”(代加工水)逆向渗透成为纯水的处理方式因此而称为反渗透工艺，反渗透膜按其材料不同有聚酰胺膜、醋酸纤维膜、聚砜膜、复合膜等。其结构又有中空式、卷式等类型，目前应用zui多的是复合膜等。其优点是脱盐率高(可达98%以上)，应用性好。
3、杀菌：反渗透处理后的水还需经灭菌处理，灭菌方法有紫外线杀菌、臭氧杀菌两种，紫外线杀菌是利用250～260nm波长的紫外线能强烈破坏微生物DNA的机理，通过大功率紫外线发射汞灯照射来达到灭菌效果；臭氧杀菌则是通过生产臭氧，利用臭氧的强氧化性达到杀灭细菌的目的。国内目前纯水生产中以臭氧杀菌的方式较多。
4、精滤：通常杀菌后的水还需要0.22um的微滤装置除去水中残存的菌体等杂质，即制成纯水。
